Исследование свойств пористого диоксида кремния

• Средняя оценка доклада

  2.6

  Материаловедение и нанотехнологии

  Кафедра ФЭ

  ФЭ-1303 Технология тонких пленок с низкой диэлектрической проницаемостью

  Исследование свойств пористого диоксида кремния

  Опарин Виктор Александрович

  В данной статье приведены результаты исследования влияния примеси углерода на диэлектрические свойства диоксида кремния (SiO2), полученного методом магнетронного распыления. Экспериментальные данные свидетельствуют о значительном улучшении диэлектрических параметров пленок диоксида кремния, модифицированного углеродом.

  Исследование свойств пористого диоксида кремния