Особенности электронно-лучевого испарения керамики на основе оксида алюминия в форвакуумной области давлений

• Средняя оценка доклада

  5.9

  Материаловедение и нанотехнологии

  Кафедра ФЭ

  ФЭ-1604 Электронно-лучевая обработка материалов в форвакуумной области давлений

  Особенности электронно-лучевого испарения керамики на основе оксида алюминия в форвакуумной области давлений

  Хващевская Снежана Сергеевна

  В статье представлено исследование процесса электронно-лучевого испарения и осаждения из паровой фазы керамических материалов в форвакуумной области давления. Для испарения керамики на основе оксида алюминия использовался плазменный электронный источник, специально созданный для работы в форвакуумной области давлений. Определена зависимость толщины напыляемого покрытия от расстояния до испаряемой мишени и угла между осью электронного пучка и направлением на центр подложки. Показано, что в форвакуумной области давлений пространственное распределение толщины покрытий более равномерное по сравнению с напылением в высоком вакууме. Это обстоятельство может быть связано с рассеянием частиц испаренного вещества на молекулах газа при высоком давлении.

  Особенности электронно-лучевого испарения керамики на основе оксида алюминия в форвакуумной области давлений