ПОЛУЧЕНИЕ ПЛЕНКИ НИТРИДА КРЕМНИЯ МЕТОДОМ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ

• Средняя оценка доклада

  4.1

  Материаловедение и нанотехнологии

  Кафедра ФЭ

  ФЭ-1304 Технология и формирование наноструктур

  ПОЛУЧЕНИЕ ПЛЕНКИ НИТРИДА КРЕМНИЯ МЕТОДОМ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ

  Гапонова Юлия Сергеевна

  Плазмохимия, как метод создания пленок, обеспечивает высокую адгезию и химическую чистоту продукта, осаждаемого из газовой фазы, позволяет наносить однородные по составу и толщине покрытия на детали сложной конфигурации

  ПОЛУЧЕНИЕ ПЛЕНКИ НИТРИДА КРЕМНИЯ МЕТОДОМ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ